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小型真空室真空測量與控制系統(tǒng)的設(shè)計與實現(xiàn)

作者：麻碩; 邱忠義; 陳卓哲

摘要：針對小型真空室在生產(chǎn)、制造和檢測中的應(yīng)用現(xiàn)狀,該文提出并設(shè)計了一種適用于中高真空度、帶變頻控制的小型真空室真空測量與控制系統(tǒng),并對其進(jìn)行了試驗驗證。該系統(tǒng)具有實時采集和上傳真空室壓力值以及變頻器頻率值、在線調(diào)節(jié)真空泵的轉(zhuǎn)速以及單步調(diào)試的功能。試驗采用計算機(jī)模擬上位機(jī),通過基于Lab VIEW構(gòu)建的監(jiān)控平臺,監(jiān)測系統(tǒng)的工作狀態(tài),并對系統(tǒng)進(jìn)行控制。試驗結(jié)果表明,該控制系統(tǒng)各個部件運轉(zhuǎn)正常,對真空室壓力值和變頻器頻率值測量準(zhǔn)確,能夠在線調(diào)節(jié)變頻器的頻率值,在實現(xiàn)真空度控制的同時達(dá)到節(jié)約能源的效果,并且該控制系統(tǒng)的單步調(diào)試功能可以進(jìn)行故障排查,為整機(jī)調(diào)試和檢修帶來方便。

關(guān)鍵詞：真空測量與控制; 小型真空室; 變頻控制; 單步調(diào)試;

期刊名稱：自動化與儀表

發(fā)表時間：2017-04-15

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